簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Fuh-Yu Chang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="碳包裹物"


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    碳化矽基板碳包裹物衍生磊晶缺陷研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生： 李承遠   指導教授： 鄭正元
    • 4H碳化矽基板作為高功率半導體重要材料，表面的缺陷對後續元件品質有很大的影響，本研究探討基板材料中的碳包裹物缺陷對磊晶後的表面缺陷有何影響。材料選用6吋N-Type晶圓，在表面以微分干涉影像與光致發…
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    • 全文公開日期 2033/01/10 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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